سیلیکون کاربید چگونه ساخته می شود؟

چطور استکاربید سیلیکونساخته شده؟

ساده ترین روش ساخت کاربید سیلیکون شامل ذوب شن و ماسه سیلیس و کربن (مانند زغال سنگ) در دمای بالا تا 2500 درجه سانتیگراد است. کاربید سیلیکون تیره‌تر و رایج‌تر اغلب حاوی ناخالصی‌های آهن و کربن است، اما کریستال‌های SiC خالص بی‌رنگ هستند و هنگامی که کاربید سیلیکون در دمای 2700 درجه سانتی‌گراد تصعید می‌شود، تشکیل می‌شوند. این کریستال‌ها پس از گرم شدن، در دمای پایین‌تری بر روی گرافیت رسوب می‌کنند، فرآیندی که به فرآیند ریلی معروف است.

روش ریلی: در این فرآیند، یک بوته گرانیتی تا دماهای بسیار بالا معمولاً از طریق القایی حرارت داده می شود تا پودر کاربید سیلیکون تصعید شود. میله های گرافیتی با دمای پایین در یک مخلوط گاز معلق هستند که اساساً به کاربید سیلیکون خالص اجازه می دهد تا رسوب کرده و کریستال ها را تشکیل دهد.

رسوب بخار شیمیایی: تولیدکنندگان همچنین می توانند کاربید سیلیکون مکعبی را با استفاده از رسوب بخار شیمیایی که معمولاً در فرآیندهای سنتز مبتنی بر کربن و در صنعت نیمه هادی استفاده می شود، پرورش دهند. در این روش، مخلوط شیمیایی خاصی از گازها وارد محیط خلاء شده و قبل از ته نشین شدن بر روی یک بستر ترکیب می شوند.

هر دو روش تولید ویفر کاربید سیلیکون به مقادیر قابل توجهی انرژی، تجهیزات و دانش برای موفقیت نیاز دارند.