مواد سطح بالا سیلیکون فلز 2502

مواد و روش تهیه با سیلیسید فلزی، الفسیلیکون متال 2502نانوساختار ، که شامل یک نانوساختار سیلیکا فلزی است که بر روی یک بستر SOI ساخته شده است. ضخامت لایه دی الکتریک عایق این بستر SOI {{0} nm است ، و ضخامت فیلم سیلیکون {{1} nm است. روش آماده سازی شامل تمیز کردن ، خشک کردن ، روکش چرخش مثبت ، قرار گرفتن در معرض ، توسعه و رفع و سپس ساخت ساختار الگوی ماسک نانوساختار مورد نیاز در سطح فیلم نازک سیلیکون از بستر SOI است.

1.یک روش و روش آماده سازی با یک سیلید فلزی ، aفلز سیلیکون 2502نانوساختار، که شامل یک نانوساختار سیلیسید فلزی ساخته شده بر روی یک بستر SOI است. ضخامت لایه دی الکتریک عایق این زیرلایه SOI 100-1000 نانومتر و ضخامت لایه سیلیکونی 50-500 نانومتر است. روش آماده‌سازی شامل این است که بستر SOI تمیز، خشک شده، با نور مقاوم مثبت پوشش داده می‌شود، در معرض دید قرار می‌گیرد، توسعه می‌یابد و ثابت می‌شود و ساختار الگوی ماسک نانوساختار مورد نیاز بر روی سطح لایه نازک سیلیکونی زیرلایه SOI ساخته می‌شود. اچ یون واکنشی برای حکاکی لایه سیلیکونی روی بستر SOI به نانوساختار مورد نیاز، عمق اچینگ ضخامت لایه سیلیکونی است و سپس روی لایه عایق حاوی نانوساختار سیلیکونی، لایه فلزی مورد نیاز برای تشکیل سیلیسید فلز رسوب می کند و سپس فلز و سیلیکون در فاز جامد با بازپخت در دمای بالا واکنش داده و فلز را تشکیل می دهند. سیلیسید، و فلز واکنش نداده با خوردگی شیمیایی حذف می شود، یعنی نانوساختار سیلیسید فلزی تشکیل می شود. این روش ساده است و می تواند موقعیت و مقیاس نانوساختار را کنترل کند.

تگ های محبوب: مواد با سطح بالا سیلیکون فلزی 2502 ، چین سطح بالا مواد سیلیکون فلزی 2502 تولید کنندگان ، تأمین کنندگان ، کارخانه