شرح محصولات
نیترید سیلیکونیفیلم های نازک دارای ساختار متراکم ، استحکام بالا و مقاومت در برابر سایش خوب هستند و می توانند به عنوان اجزای ساختاری در دستگاه های MEMS مورد استفاده قرار گیرند. مدول و سختی فیلم های نیترید سیلیکون با روش PECVD مورد آزمایش قرار گرفت و تأثیر دمای رسوب و نسبت جریان گاز واکنش بر مدول و سختی فیلم ها مورد بررسی قرار گرفت. از فیلم نیترید سیلیکون به عنوان یک پرتو تعلیق برای ساخت سوئیچ های RF MEMS استفاده شد.
پارامترهای محصولات
| درجه | N | si | حدود | ای حداقل | ج | هر روز | آهک |
| si3n 485-99 | 32-39 | 55-60 | 0.25 | 1.5 | 0.3 | 0.25 | 0.25 |
تصویر همکاری محصولات
1.نیترید سیلیکونیسرامیک سرامیک های سازه ای با درجه بالا و با استحکام بالا با چشم انداز توسعه گسترده است. از عملکرد بالایی برخوردار است (مانند مقاومت بالا ، ثبات شوک حرارتی خوب ، چقرمگی خستگی بالا ، استحکام انعطاف پذیر بالا در دمای اتاق ، مقاومت در برابر سایش ، مقاومت به اکسیداسیون ، مقاومت در برابر خوردگی و غیره) و در تمام جنبه های زندگی به طور گسترده ای مورد استفاده قرار گرفته است. روشهای آماده سازی نیترید سیلیکون به طور عمده شامل پخت واکنش (RS) ، پخت فشار گرم (HPS) ، پخت و پز فشار اتمسفر (PLS) و پخت و پز فشار پنوماتیک (GPS) است. در حال حاضر ، مشکل اصلی این است که محصولات سرامیکی نیترید سیلیکون از چقرمگی و هزینه بالایی برخوردار هستند. در آینده لازم است فرآیندهای فرز ، قالب ریزی و پخت و تولید و ترکیب نیترید سیلیکون و کاربید سیلیکون برای توسعه سرامیک های نیترید سیلیکون بهتر بهبود یابد.
تگ های محبوب: نیترید سیلیکون فلزی با سطح بالا ، تولید کنندگان نیترید فلزی سطح بالا ، تولید کنندگان ، تهیه کنندگان ، کارخانه